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篇1

2微電子機械系統(tǒng)的發(fā)展歷程

微機械器件以及微電子機械系統(tǒng)在生產(chǎn)加工的過程中需要對其深加工技術(shù)進(jìn)行研究和重視。在研究中開始逐漸的形成了微電子加工技術(shù)和微機械裝置加工技術(shù)。并隨著對技術(shù)的細(xì)分，開始形成了體微機械技術(shù)以及外輪廓表面微機械裝置技術(shù)，并同時也產(chǎn)生了LIGA機械裝置技術(shù)以及高標(biāo)準(zhǔn)的LIGA機械裝置技術(shù)。對其體微機械技術(shù)按照實施的目標(biāo)對象機械能分析，可以得出體硅單晶體為核心構(gòu)成體并在其物理測量厚度的10到999單位內(nèi)呈現(xiàn)規(guī)則布局分離，為其核心的技術(shù)策略單位。并對其技術(shù)中存在的腐蝕以及吻合問題進(jìn)行布局的考慮。對其技術(shù)的優(yōu)勢分析得出，其裝置的工藝相對不繁瑣，但其操控性和調(diào)控性數(shù)值偏低。在表面微機械裝置中，進(jìn)行相應(yīng)的IC技術(shù)加工，如采用擴(kuò)散光學(xué)和標(biāo)準(zhǔn)尺寸對應(yīng)光刻以及復(fù)膜層疊等技術(shù)運用中，其都會對原有的厚度比率進(jìn)行微調(diào)，對其在剝離技術(shù)中和進(jìn)行切割技術(shù)的分析[1]。其技術(shù)的有點在于對IC技術(shù)有相對完整的包容性，但存在的不足點也較為顯著，如切割的縱向厚度單位偏低，在電光鑄模和縮微成型以及耐溫差等方面存在一定的技術(shù)局限。LIGA技術(shù)在德文X射線進(jìn)行曝光和電光鑄模中有其良好的優(yōu)越性，其對設(shè)備的制取尺寸在1單位內(nèi)到999單位內(nèi)。但需要指出LIGA技術(shù)處于高成本和高復(fù)雜度的技術(shù)，并需要采用相對保守的紫外線深度曝光，保障其光刻效果和覆膜效果。而準(zhǔn)LIGA技術(shù)在對設(shè)備加工中可以在最合理控制尺寸中，保障其電路集成后續(xù)裝置獲得合理的配置[2]。因而其技術(shù)的優(yōu)勢在微機械技術(shù)中可以獲得關(guān)注度的展現(xiàn)。

2.1自動對焦的三維加工技術(shù)

目前自對準(zhǔn)的準(zhǔn)三維加工技術(shù)普遍采用深度的紫外線厚度型進(jìn)行光度的曝光刻度，并進(jìn)行膠模的處理，保證其在犧牲層和結(jié)構(gòu)層獲得合理的電鑄，并利用其兩層的金屬電鑄特帶你，獲得犧牲層厚度的保障，并進(jìn)行微結(jié)構(gòu)的自動對準(zhǔn)技術(shù)保障[3]。

因而CU可以表示為犧牲層，NI為結(jié)構(gòu)層的技術(shù)，并在其平面和垂直兩方向性獲得控制，在其CU和NI中進(jìn)行電鑄處理，使得其種子層和型模層獲得兩種電鑄金屬處理，讓技術(shù)水平在微架構(gòu)層面獲得統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)化套準(zhǔn)對應(yīng)。在其腐蝕性選擇上要對其液體進(jìn)行考慮，CI屬于腐蝕性，NI不屬于腐蝕性，并對其微機械機構(gòu)進(jìn)行終止惰性反應(yīng)。其配套技術(shù)以及Ic工藝獲得最大化的包容，在溫度上控制在85攝氏度，獲得對結(jié)構(gòu)合理的微機械技術(shù)。其深度的單位測定在22，保障其后續(xù)的標(biāo)準(zhǔn)對應(yīng)后其范圍空載在49到101內(nèi)。

準(zhǔn)LIGA技術(shù)需要在工藝布局考慮中，首先要保障（a）低阻硅片（10-3cm），其熱氧化反映在1.5，其厚度在SIO2其需要把定子對襯低的外圓位置進(jìn)行確定。同時進(jìn)行首次的光學(xué)刻，SIO2腐蝕出進(jìn)行1.2各坑道處理。形成在轉(zhuǎn)子下部的新支撐點確定。在除去膠緣后，在真空中進(jìn)行高溫處理形成0.3的銅電鑄種子層。在第二次光學(xué)刻錄中，要對尺寸厚光刻膠AZ4620進(jìn)行轉(zhuǎn)子膠模處理，保障其電光鑄在3內(nèi)進(jìn)行轉(zhuǎn)子保障。后進(jìn)行第三次的光刻，在其厚度尺寸中選擇光學(xué)刻錄定子膠模處理，保障其厚度在2.5范圍內(nèi)。形成銅犧牲層的轉(zhuǎn)子和釘子的轉(zhuǎn)化變化，對其空隙中要包容其電鑄在1.5釘子范圍。在最后一次光刻中，要對其厚膠光學(xué)刻錄后，對其1.3銅都犧牲層要進(jìn)行間隙轉(zhuǎn)化的電鑄考慮。并用起腐蝕性的液進(jìn)行HF緩沖液體的處理，通過SIO2合理的釋放轉(zhuǎn)化的轉(zhuǎn)子。其微機械技術(shù)在應(yīng)用中可以獲得廣泛的推崇，靜電驅(qū)動鎳晃動微馬達(dá)為例，其自對準(zhǔn)的準(zhǔn)三維加工技術(shù)目前在實際應(yīng)用中哥已經(jīng)獲得鎳晃動馬達(dá)。用電鑄Cu作犧牲層，電鑄Ni作結(jié)構(gòu)層（定子、轉(zhuǎn)子和軸），得到的轉(zhuǎn)子與定子。各項參數(shù)都符合標(biāo)準(zhǔn)。

篇2

授權(quán)批準(zhǔn)控制要求單位明確規(guī)定涉及會計及相關(guān)工作的授權(quán)批準(zhǔn)的范圍、權(quán)限、會計程序、責(zé)任等內(nèi)容，會計論文單位內(nèi)部的各級管理層必須在授權(quán)范圍內(nèi)行使職能和承擔(dān)責(zé)任，經(jīng)辦人員也必須在授權(quán)范圍內(nèi)辦理業(yè)務(wù)。在手工會計系統(tǒng)中，對于一項經(jīng)濟(jì)業(yè)務(wù)的每個環(huán)節(jié)都要經(jīng)過具有相應(yīng)權(quán)限人員的簽字或蓋章。但在電算化會計信息系統(tǒng)中，業(yè)務(wù)人員可利用特殊的授權(quán)口令，獲得某種權(quán)利或運行特定的程序進(jìn)行業(yè)務(wù)處理，由此引起失控而造成損失的案例數(shù)不勝數(shù)。

（二） 電算化會計信息系統(tǒng)改變了會計核算的環(huán)境

隨著遠(yuǎn)程通訊技術(shù)的發(fā)展，會計信息的網(wǎng)上實時處理成為可能，業(yè)務(wù)事項可以在遠(yuǎn)離企業(yè)的某個終端機上瞬間完成數(shù)據(jù)處理工作，原先應(yīng)由會計人員處理的有關(guān)業(yè)務(wù)事項，現(xiàn)在可能集中在一個部門甚至一個人完成，因此要保證企業(yè)財產(chǎn)物資的安全完整，保證會計系統(tǒng)對企業(yè)經(jīng)濟(jì)活動反映的正確和可靠，達(dá)到企業(yè)管理的目標(biāo)，內(nèi)部會計控制制度的范圍和控制程序較之手工會計系統(tǒng)更加廣泛、更加復(fù)雜。

（三） 內(nèi)部會計控制的程序化使得內(nèi)部會計控制具有一定的依賴性并增加了差錯反復(fù)發(fā)生的可能性，電算化系統(tǒng)中內(nèi)部會計控制具有人工控制和程序控制相結(jié)合的特點。電算化系統(tǒng)許多應(yīng)用程序中包含了內(nèi)部控制功能，這些程序化的內(nèi)部控制的有效性取決于應(yīng)用程序，如程序發(fā)生差錯或不起作用，由于人們依賴性以及程序運行的重復(fù)性，使得失效控制長期不被發(fā)現(xiàn)，從而使系統(tǒng)在特定方面發(fā)生錯誤或違規(guī)行為的可能性較大。

（四）在電算化會計系統(tǒng)中，會計和財務(wù)的業(yè)務(wù)處理方法和處理程序發(fā)生了很大變化，各類會計憑證的生成方式，會計信息的存儲方式和儲存媒介也發(fā)生了很大變化，原先反映會計和財務(wù)處理過程的各種原始憑證、記賬憑證、匯總表等作為基本會計資料的書面形式資料減少了，有些甚至消失了，原來在核算過程中進(jìn)行的必要的核對、審核等工作有相當(dāng)一部分變?yōu)橛捎嬎銠C自動完成了，原來書面形式的各類會計憑證轉(zhuǎn)變?yōu)橐晕募⒂涗浶问絻Υ嬖诖鎯橘|(zhì)上，因此必須要求確保系統(tǒng)網(wǎng)絡(luò)安全，確保備份安全，確保硬件設(shè)備安全。

二、電算化會計信息系統(tǒng)條件下內(nèi)部會計控制的特殊形式和實施

（一）操作系統(tǒng)控制

操作系統(tǒng)作為一個計算機系統(tǒng)的核心部分，其主要職責(zé)是對計算機系統(tǒng)中所有軟件和硬件的資源進(jìn)行管理、調(diào)度與分配。在計算機內(nèi)部會計控制中，操作系統(tǒng)控制的目標(biāo)是在可靠保證系統(tǒng)資源程序的處理和利用效率的基礎(chǔ)上，有效執(zhí)行系統(tǒng)控制的安全管理策略，以抵御和防范各種偶然或人為的系統(tǒng)入侵或資源破壞。主要有幾個方面。

資源保護(hù)。該保護(hù)策略主要表現(xiàn)為根據(jù)會計控制工作的制度和特點，利用操作系統(tǒng)提供的系統(tǒng)訪問控制功能對有關(guān)的系統(tǒng)工作人員的操作和數(shù)據(jù)訪問等方面的設(shè)置與控制，從而對會計控制工作的操作獨立性和數(shù)據(jù)保密性等到方面提供相應(yīng)的安全保證。

崗位隔離：崗位隔離是操作系統(tǒng)的資源保護(hù)功能在計算機會計內(nèi)部控制系統(tǒng)中的延伸，其本質(zhì)是，通過操作系統(tǒng)的用戶管理和資源保護(hù)機制，使得具有工作職責(zé)和工作權(quán)限的會計控制人員只能執(zhí)行自己相應(yīng)職權(quán)范圍內(nèi)的模塊，此外，經(jīng)過合理的設(shè)置操作系統(tǒng)的用戶認(rèn)證和管理機制，還能夠?qū)崿F(xiàn)對用戶進(jìn)入系統(tǒng)進(jìn)行操作的過程和狀態(tài)進(jìn)行記錄，從而實現(xiàn)會計內(nèi)部控制工作的監(jiān)督和管理職能。

災(zāi)難防護(hù)：災(zāi)難防護(hù)本質(zhì)上也屬于計算機安全的范疇。該策略的實施反映到計算機會計控制工作中主要包括：病毒防護(hù)和故障恢復(fù)兩個方面。

病毒防護(hù)是利用操作系統(tǒng)提供的系統(tǒng)資源保護(hù)和控制功能來實施有關(guān)的病毒防護(hù)處理，而故障恢復(fù)控制的作用是保證計算機會計控制系統(tǒng)在遇到諸如停電等環(huán)境故障時能夠維持會計信息系統(tǒng)中的應(yīng)用和數(shù)據(jù)資源的完整。

（二）數(shù)據(jù)資源控制

計算機會計信息系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)控制主要通過系統(tǒng)中數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)提供的數(shù)據(jù)信息控制管理機制實現(xiàn)和實施。

完整性控制：計算機會計系統(tǒng)的完整性控制主要通過現(xiàn)代數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)的完整性控制機制來實現(xiàn)。當(dāng)前，一個功能完善的數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)都能夠?qū)ζ涔芾淼臄?shù)據(jù)庫中的數(shù)據(jù)，在邏輯關(guān)系上提供語義參照關(guān)系機制來檢驗和保證數(shù)據(jù)庫存系統(tǒng)中的有關(guān)數(shù)據(jù)在進(jìn)行了相關(guān)控制應(yīng)用操作后仍然保持邏輯上的語義完整。

數(shù)據(jù)加密：數(shù)據(jù)加密策略的實施主要通過數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)的數(shù)據(jù)加密和存放功能實現(xiàn)，其作用不僅維持了數(shù)據(jù)信息的保密，而且使得合法操作人員只能通過系統(tǒng)規(guī)定的程序?qū)嵤┎僮骱涂刂苹顒印?/p>

數(shù)據(jù)備份：數(shù)據(jù)備份控制的實施過程為，管理和存儲信息的計算機數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)，根據(jù)會計系統(tǒng)的數(shù)據(jù)處理特點與要求，定期將系統(tǒng)中的關(guān)鍵數(shù)據(jù)從系統(tǒng)中的硬盤設(shè)備中，轉(zhuǎn)存或備份至可以長久保存的存儲設(shè)備中，比如光盤、移動硬盤。

（三）組織結(jié)構(gòu)控制

在手工會計系統(tǒng)中，企業(yè)的財務(wù)部門一般主要從組織形式和組織程序上實行崗位控制，其中，組織形式控制是通過財務(wù)部門按經(jīng)濟(jì)業(yè)務(wù)的性質(zhì)分為幾個不同的職能組來實現(xiàn)相互牽制和相互監(jiān)督的控制作用，而組織程序則是通過賬賬核對、賬證核對、賬實核對、財物核對以及會計主管對憑證、賬簿和報表的審核制度來實現(xiàn)處理的合理性與合法性。

在引入了計算機等先進(jìn)的信息處理控制技術(shù)與工具之后，盡管計算機會計系統(tǒng)運作的主要原則沒有改變，但是計算機內(nèi)部會計控制的過程與方法上的許多變化與發(fā)展，使得實施計算機會計控制的企業(yè)或組織也必須相應(yīng)的在組織機構(gòu)、工作條件和管理制度等方面有所變化，從管理和控制功能的角度看，計算機會計系統(tǒng)中的組織結(jié)構(gòu)控制主要包括部門設(shè)置、運作協(xié)調(diào)和監(jiān)督管理等三個方面。

部門設(shè)置：由于引進(jìn)了基于計算機的信息處理控制技術(shù)和處理工具，根據(jù)系統(tǒng)中操作人員任務(wù)和目標(biāo)，計算機會計系統(tǒng)可以根據(jù)系統(tǒng)運作的特點與要求，將有關(guān)人員分別劃分到崗位和職能相對獨立的不同部門或工作小組中，例如，根據(jù)所擔(dān)當(dāng)?shù)慕巧c任務(wù)，在企業(yè)或組織中設(shè)置：系統(tǒng)開發(fā)、系統(tǒng)維護(hù)和會計操作等幾個相應(yīng)的職能工作部門。

運作協(xié)調(diào)：運作協(xié)調(diào)的主要作用是在明確了各職能組織部門的職責(zé)與處理范圍的基礎(chǔ)上，建立和執(zhí)行各部門協(xié)調(diào)處理和控制的規(guī)章與制度，以保障控制處理工作的順利進(jìn)行。

監(jiān)督管理：監(jiān)督管理控制的作用則是在明確各職能組織部門有關(guān)人員的工作責(zé)任與處理范圍的基礎(chǔ)上，建立和執(zhí)行工作完成情況的監(jiān)督與考核制度，以保障會計控制工作能夠高質(zhì)量的進(jìn)行和完成。