本書內容分為上下兩篇,上篇(第1~6章)主要討論潔凈室的檢測,下篇(第7一11章)主要介紹潔凈室的運行與管理。
上篇主要介紹了相關的檢測儀器、儀表的功能,檢測的方法、步驟以及測量數據的歸納整理與監測報告的規范化。下篇主要根據作者幾十年潔凈室的設計、建設與運行管理的經驗,參考國內外先進的潔凈室管理理念,詳細介紹了潔凈室在日常管理與運行中的問題。主要包括潔凈室制度與紀律的建立、進出潔凈室的材料、設備的規定、潔凈服裝的選擇以及潔凈室日常清潔工作等。,本書匯編了ISO 14644系列、ISO 14698系列標準術語和定義。
本書結合國內外新標準及作者的經驗對潔凈室檢測的目的、要求與方法、適用的儀器、使用要點及檢測報告,對潔凈室維護與管理等方面都作了較為詳盡的論述,是一本可讀性高、實用性強的好書。
本書可用作大專院校選修課教材:本書的上篇可供相關研究機構、檢測驗證機構作為員工培訓參考資料,下篇可作為潔凈室管理人員、運行人員、生產人員的培訓教材,也可作為制定潔凈室相關管理制度、章程的參考資料。
潔凈室(區)的日常運行和維護管理是保障其受控狀態持續的重要條件。因此,國內外相關的標準、規范和指南中對運行和維護管理制定了各種基本模式與要求,提供了一系列可參照的章程和方法,為潔凈室(區)的管理建立了依據。 本書結合國內外新標準及作者的經驗對潔凈室檢測的目的、要求與方法、適用的儀器、使用要點及檢測報告,對潔凈室維護與管理等方面都作了較為詳盡的論述,除此之外,還歸納整理了相關的檢測儀器、儀表的功能、檢測的方法、步驟以及測量的數據與規范化的檢測報告。
第1章 潔凈室的檢測類別與項目
1.1 潔凈室檢測的類別
1.2 潔凈室的竣工驗收
1.2.1 竣工驗收的外觀檢查
1.2.2 竣工驗收的調試工作
1.2.3 竣工驗收的檢測項目
1.2.4 竣工驗收所需文件
1.3 潔凈室綜合性能評價
1.3.1 ISO-14644 所規定的檢測項目
1.3.2 NEBB所規定的檢測項目
1.3.3 國內相關標準所規定的測試項目
1.4 潔凈室的性能監測
1.4.1 國際標準 ISO 14644-2的規定
1.4.2 國家標準 GB 50073-2001關于監測的規定
1.5 潔凈室測試時所處的狀態
復習思考題
第2章 空氣中懸浮粒子的測試
2.1 測試的準備工作
2.2 采樣點的位置及數量
2.3 各采樣點的單次采樣量
2.4 空氣中懸浮粒子濃度的采樣及數據整理
2.4.1 空氣中懸浮粒子濃度的統計計算原則
2.4.2 一個采樣點平均數字濃度(Xi)的計算方法
2.4.3 95%置信上限的計算方法
2.5 潔凈度級別的計算例題
2.5.1 例題1
2.5.2 例題2
2.6 空氣中懸浮粒子的一些特殊檢測方法
2.6.1 順序采樣法
2.6.2 空氣中懸浮超微粒子和宏粒子計數
附錄1 ISO 14644 潔凈度及潔凈區按所定懸浮粒子的潔凈度分級
附錄2 ISO 14644 潔凈度分級的粒子濃度限值圖
附錄3 國家標準GB 50073-2001 潔凈室及潔凈區空氣中懸浮粒子潔凈度等級
復習思考題
第3章 潔凈室、潔凈區的氣流、壓差與檢漏測試
3.1 氣流測試
3.1.1 單向流潔凈室或設施的風速測定
3.1.2 用風罩法測定非單向流潔凈室或設施的風量
3.1.3 非單向流潔凈室的其他風量測定方法
3.1.4 風速、風量測試評定標準
3.1.5 單向流風速測定例題
3.2 壓差測試
3.3 高效過濾器檢漏
3.3.1 當高效過濾器安裝在頂棚、墻上或設備上時的檢漏測試
3.3.2 高效過濾器安裝在管道或空氣處理機上時過濾器的整體檢漏
3.3.3 檢漏測試報告
3.4 氣流目
3.4.1 氣流目檢的方法
3.4.2 氣流目檢的操作
3.4.3 關于氣流流型的測點布置
3.4.4 測試報告
3.5 溫度與濕度測試
3.5.1 一般溫、濕度測試
3.5.2 綜合溫、濕度測試
3.5.3 測試報告
3.6 自凈性能測試
3.6.1 自凈性能或自凈時間的定義
3.6.2 用粒子濃度變化率評估自凈性能
3.6.3 直接測量自凈時間
3.6.4 測試報告
3.7 污染滲漏測試
3.7.1 使用離散粒子計數器測試污染滲漏
3.7.2 使用氣溶膠光度計測試污染滲漏
3.7.3 測試報告
3.8 粒子沉積測試
3.8.1 測量采樣板上沉積粒子的獲取方法
3.8.2 測量采樣板上沉積粒子的計數和粒徑確定
3.8.3 測量采樣板材料與測試儀器
3.8.4 測試報告
3.9 潔凈室的噪聲、微振與照度的測試
3.9.1 相關的標準與規定
3.9.2 噪聲、微振與照度的檢測
3.10 靜電測試
3.10.1 相關的規范規定
3.10.2 靜電測試方法
復習思考題
第4章 檢測儀器、儀表與方法
4.1 光散射離散粒子計數器
4.1.1 用于現場檢測的便攜式激光粒子計數器
4.1.2 用于潔凈環境實時監控的激光粒子計數器及相關設備
4.1.3 凝聚核粒子計數器
4.2 氣流測試儀表
4.2.1 風速測量儀表
4.2.2 壓差測定常用儀表
4.2.3 氣流目測的儀器
4.3 高效空氣過濾器安裝后的檢漏
4.3.1 檢漏測試所用的氣溶膠
4.3.2 檢漏測試所用的設備
4.4 溫、濕度、照度、噪聲等參數的測量
4.4.1 溫度測量儀表
4.4.2 濕度測量儀表
4.4.3 照度與噪聲測試儀表
4.5 靜電和離子生成器測試儀表
4.6 ISO 14644 關于潔凈設施測試的順序與儀器
復習思考題
第5章 生物污染控制與微生物檢測
5.1 微生物污染控制的手段與方法
5.2 生物污染控制原則
5.2.1 微生物危害評價與控制體系的內容
5.2.2 生物污染監測
5.3 生物污染的檢測采樣
5.3.1 生物污染的檢測采樣儀器的選擇原則
5.3.2 采樣計劃的制定
5.4 生物污染數據的評價
5.4.1 初始檢測階段對生物污染數據的評估
5.4.2 日常監測階段所得生物污染數據的估算與評價
5.4.3 沉降測值與浮游測值的關聯
5.5 傳統的微生物采樣計數設備
5.5.1 沉降法采樣裝置
5.5.2 撞擊法空氣微生物采樣器
5.5.3 碰撞式采樣法
5.5.4 過濾法
5.5.5 大容量法
5.5.6 表面微生物的測試方法
5.6 環境微生物的快速測定法
5.6.1 目前使用的幾種微生物快速測定法
復習思考題
第6章 潔凈室性能測試報告的實例
6.1 檢測報告的基本內容
6.2 檢測報告的目錄及實例
第7章 潔凈室污染控制分析與策略
7.1 查清潔凈室污染源與傳播途徑
7.1.1 污染源
7.1.2 污染傳播的途徑
7.1.3 污染風險分析和控制措施圖
7.2 危害性分析
7.3 制定危害控制與監測方法
7.3.1 制定危害控制的方法
7.3.2 監測采樣與控制方法
7.3.3 制定報警值和行動值
復習思考題
第8章 潔凈室的制度與紀律
8.1 嚴格控制進入潔凈室的人員
8.1.1 對潔凈室工作人員的基本要求
8.1.2 對潔凈室維修人員和服務人員的基本要求
8.2 潔凈室內需遵守的紀律
8.2.1 防止沿通道逆向氣流增加污染
8.2.2 防止工作人員在潔凈室內的不當動作增加污染
8.2.3 防止潔凈室內材料使用不當而增加污染
8.3 潔凈室工作人員的教育培訓
8.3.1 參與培訓的人員
8.3.2 培訓課程的內容
8.3.3 對潔凈室人員行為的監控
8.4 潔凈室工作制度與紀律示例
天津某知名合資電子企業潔凈室工作守則(試用版)
復習思考題
第9章 人員進出潔凈室與潔凈服裝
9.1 人員進入潔凈室的清潔流程
9.1.1 到達潔凈室前
9.1.2 更換潔凈服
9.1.3 離開潔凈室的更衣程序
9.2 潔凈服
9.2.1 人員散發的污染物來源與傳播途徑
9.2.2 潔凈服的設計與制作
9.2.3 潔凈室服裝的處理與更換
9.2.4 潔凈服測試
9.3 潔凈室用面罩、頭盔、手套
9.3.1 潔凈面罩與頭盔
9.3.2 潔凈室手套
9.4 動力排風式頭盔
復習思考題
第10章 進入潔凈室的材料、設備和機器
10.1 潔凈室用材的選擇
10.2 外部供應的物品及其包裝
10.3 通過氣閘室傳遞物品和小件設備
10.4 潔凈室固定設備的進入、安裝與維修
復習思考題
第11章 潔凈室的日常清潔工作
11.1 潔凈室日常清潔的必要性
11.2 表面物理清潔方法
11.3 潔凈室用清潔用具及操作方法
11.4 潔凈室清潔用液體
11.5 清潔表面和清潔級別的分類
11.6 潔凈室日常清潔方法
11.7 清潔工作的計劃與安排
復習思考題
附錄 ISO 14644 系列、ISO 14698系列標準術語和定義匯編
附錄一 按 ISO 14644,ISO 14698 系列標準的序號,匯集各標準的"術語與定義"
附錄二 ISO 14644,ISO 14698 系列標準按漢語拼音排序的"術語與定義"
附錄三 ISO 14644,ISO 1698 系列標準按英文字母排序的"術語與定義"
參考文獻
第1章 潔凈室的檢測類別與項目
1.2 潔凈室的竣工驗收
通常由建設方牽頭,承包商、工程監理單位、設計單位等各方共同參與,進行工程質量的檢查、系統調試和檢測,為工程驗收鋪墊基礎。以此為目的而進行的檢測稱為"潔凈室竣工驗收檢測"。
竣工驗收應在各項工程經外觀檢查、單機試運轉、系統聯合試運轉后進行。
1.2.1 竣工驗收的外觀檢查
潔凈室各部分工程的外觀檢查,是竣工驗收工作的及時步。由建設方、承包商、工程監理部門組成驗收小組對各項工程逐一檢查。除觀測外觀、檢查施工記錄、核對設計圖、變更圖外,對一些調節設備的靈活性,可操作性應予以關注。外觀檢查工作均應有文字記錄及參與人簽字。
潔凈室各項工程的外觀檢查應符合以下要求:
1)各種管道、自動滅火裝置及凈化空調設備(空調器、風機、凈化空調機組、高效空氣過濾器和空氣吹淋室等)的安裝應正確、牢固、嚴密,其偏差應符合有關規定;
2)高、中效空氣過濾器與支撐框架的連接及風管與設備的連接處應有密封;
3)各類調節裝置應嚴密、調節靈活、操作方便;
4)凈化空調器、靜壓箱、風管系統及送、回風口無灰塵;
5)潔凈室的內墻面、頂棚表面和地面,應光滑、平整、色澤均勻,不起灰塵,地板無靜電現象;
6)送、回風口及各類末端裝置、各類管道、照明和動力線配管以及工藝設備等穿越潔凈室時,穿越處的密封處理應嚴密;
7)潔凈室內各類配電盤、柜和進入潔凈室的電氣管線、管口應密封;
8)各種刷涂、保溫工程應符合有關規定。
1.2.2 竣工驗收的調試工作
1)凡有試運轉要求的設備的單機試運轉,應符合設備技術文件的有關規定。屬于機械設備的共性要求,還應符合國家相關規定和機械設備施工安裝方面的有關行業標準。
通常潔凈室需進行單機試運轉的設備有空調機組、送風增壓風機箱、排風設備、凈化工作臺、靜電自凈器、潔凈干燥箱、潔凈儲物柜等局部凈化設備,以及空氣吹淋室、余壓閥、真空吸塵清掃設備等。
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